(相关资料图)

记者从中国科学院高能物理研究所东莞研究部获悉，近日，中国散裂中子源探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置，成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品：单片面积达到1500mm×500mm，薄膜厚度1微米，全尺寸范围内厚度均匀性优于±1.32%。这是目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜。

推荐内容